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供混气系统(两路质量流量计)[产品打印页面]

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产品名称: 供混气系统(两路质量流量计)
产品特点: GQ-2Z
产品展商: MICRO-X
产品价格: 1.00 元
折扣价格: 1.00 元
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简单介绍

供混气系统(两路质量流量计)



供混气系统(两路质量流量计)  的详细介绍

路质子混气系统MXGQ-2Z
 

 

 

MXGQ-2Z可以用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在MXGQ-2Z的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合微行炉业的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。 

 

质量流量控制器

工作电压:220V

上限输出功率:18W

控制范围:

    控制器11-199 SCCM

    控制器21-499 SCCM

工作温度:5-45 ºC

上限压力:3x 10^6 Pa

准确度:±1%FS

机械压力表测量范围-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)

针型阀304不锈钢

混气罐Φ80*120MM

截止阀Φ1/4 304不锈钢

外形尺寸600*600*650MM

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