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供混气系统(四路质量流量计)[产品打印页面]

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产品名称: 供混气系统(四路质量流量计)
产品特点: GQ-4Z
产品展商: MICRO-X
产品价格: 1.00 元
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简单介绍

供混气系统(四路质量流量计)



供混气系统(四路质量流量计)  的详细介绍
四路质量供混气系统MXGQ-4Z
GQ-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在GQ-4Z的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合微行炉业的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
 
质量流量控制器
工作电压:220V
上限输出功率:18W
控制范围:
   控制器1:0-100 SCCM

   控制器2:1-199 SCCM

   控制器1:1-199 SCCM

   控制器2:1-499 SCCM
工作温度:5-45 ºC
上限压力:3* 10^6 Pa
准确度:±1%FS
机械压力表测量范围:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
针型阀:304不锈钢
混气罐:Φ80*120MM
截止阀:Φ1/4 304不锈钢
外形尺寸:600*600*650MM
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