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广东PECVD(等离子体增强化学气相沉积系统)[产品打印页面]

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产品名称: 广东PECVD(等离子体增强化学气相沉积系统)
产品特点: TF1200-60-SL-4Z-LV-PECVD系列 详情咨询15814477180 杨程
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。



广东PECVD(等离子体增强化学气相沉积系统)  的详细介绍

主要功能和特点:

 

1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相;

2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量;

3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率;

4、能广泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。



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