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供混气系统(三路质量流量计)[产品打印页面]

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产品名称: 供混气系统(三路质量流量计)
产品特点: GQ-3Z
产品展商: MICRO-X
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简单介绍

供混气系统(三路质量流量计)



供混气系统(三路质量流量计)  的详细介绍

      供气系统气路客户可自选


设备简介:GQ-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在GQ-4Z的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合艾科迅的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

 

质量供气系统技术参数

外形尺寸

600x600x600mm

标准量程

50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar)500sccm(N2)(客户可自选)

数显压力表测量范围

-0.1Mpa~0.15Mpa

极限压力

3MPa

针阀

316不锈钢

截止阀

Φ6mm 316不锈钢针阀

电功率

AC220V/50HZ/20W

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

接口

Φ6,1/4''

 


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